■测量范围(XYZ):200x 150x 150 mm
■测量范围(XYZ):300x 150x 150 mm
■测量范围(XYZ):300x 300x 150 mm
■设备尺寸(LWH),净重:55 x 56 x 85 cm,113kg
■设备尺寸(LWH),净重:55 x 71 x 85 cm,115kg
■设备尺寸(LWH),净重:82 x 71 x 85 cm,140kg
■XYZ光栅尺分辨率:0.5 µm
■驱动:X, Y, 微步进马达驱动;Z, 直流伺服马达驱动;操纵杆(X, Y, Z, 变焦)
■工作平台:平台镀硬膜层且阳极氧化,可拆卸平板玻璃, 14kg承载力